X射線熒光光譜儀具有重現(xiàn)性好，測(cè)量速度快，靈敏度高的特點(diǎn)。能分析B(5)~U(92)之間所有元素。樣品可以是固體、粉末、熔融片，液體等，分析對(duì)象適用于煉鋼、有色金屬、水泥、陶瓷、石油、玻璃等行業(yè)樣品。

　　X射線熒光光譜是一種常用的光譜技術(shù)，既可用于材料的組成成分分析，又可用于涂層和多層薄膜厚度的測(cè)量等。

　　X射線熒光光譜儀使用的注意事項(xiàng)

　　(1)樣品檢測(cè)前,為了減少雜質(zhì)對(duì)結(jié)果的影響,應(yīng)該對(duì)樣品進(jìn)行盡可能的清潔處理。選用清潔試劑時(shí),要極為慎重,以免對(duì)樣品產(chǎn)生影響。

　　(2)為了防止樣品不同區(qū)域的狀態(tài)有所不同,需要對(duì)同一樣品多點(diǎn)測(cè)量,以提高測(cè)量的可信度,即注意采樣點(diǎn)的合理性。

　　(3)對(duì)同一樣品進(jìn)行多次測(cè)試,以證明檢測(cè)方法的精密度。

　　(4)初期的數(shù)據(jù)需要用不同的檢測(cè)方法和實(shí)驗(yàn)進(jìn)行比對(duì),以保證測(cè)量數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性、可靠性。采用有損檢測(cè)方法(例如化學(xué)分析法,這時(shí)候需要對(duì)不重要的樣品進(jìn)行分析)對(duì)比儀器的檢測(cè)結(jié)果。

　　(5)選取標(biāo)樣時(shí)盡可能地與樣品的組成相近。

　　(6)X射線熒光光譜法是一種表面分析技術(shù),其分析結(jié)果受樣品表面大小、光潔度和幾何形狀的影響較大。校正公式和校正系數(shù)的建立也需要總結(jié)。